[SEM] 저전압 전계방출 스캐닝 전자현미경
Scanning electron microscope(SEM)- 시설장비 등록번호
- 20101019-140828-006
- 바우처 사용가능여부
- 가능
- 제작사명
- 세론 기술
- 설치장소
- 신뢰성평가동 1층 전자현미경실
- 모델명
- AIS 2000
- 장비담당연구원
- 이은숙 선임(063-219-3634)
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장비설명
○ 전자총(gun)에서 나온 전자빔이 전자광학계를 거쳐서 진공챔버에 장착된 시료 표면을 스캔하고, 시료 표면에서 튀어나온 2차 전자를 검출기
(SE 디텍터)에서 포집하여 이를 제어부를 통해 모니터 화면에 영상으로 구현함.
- 일반 광학 현미경으로 관측이 어려운 나노-마이크로 단위의 물질의 미세구조를 분석
- 성분분석장치(EDS)와 같은 옵션 디텍터를 장착하여 원소 성분 분석 -
구성 및 기능
○ Resolution : 30 nm @ 30 KV
○ Magnification : 10 - Max 300,000배
○ Beam scan mode : Search, Inspection, Photo(3 step)
○ Accelerating voltage : 0.6 KV ~ 30 KV
○ EDS(Energy Dispersive Spectrometer) -
사용/활용 예
○ 물체의 미세구조와 Hardness, Reflectivity 등의 물성과 연관성 및 물체의 표면 형상 관찰 가능
○ Ductility, Strength, Reactivity 등의 물성과 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 관찰 가능
○ 물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양 분석 가능 및 재료 내 원자들의 배열상태 분석 가능
