- 반도체용 히터·정전척 등 세라믹 소재부품 양산화 지원

한국세라믹기술원 이천분원에 반도체용 세라믹 소재부품 기업 지원을 위한 기반시설이 구축된다.

이천시(시장 엄태준)는 산업통상자원부 산하 한국산업기술진흥원(KIAT)과 세라믹종합솔루션센터가 들어서는 한국세라믹기술원 이천분원과 함께 반도체 세라믹 소재부품산업 기술개발 기반구축 사업을 위한 협약을 체결했다고 지난 21일 밝혔다.

세라믹종합솔루션센터에 설치될 장비구축을 위해 올해 50억원이 투입되고 2022년까지 약 378억원이 투입된다.

한국세라믹기술원 이천분원은 3년동안 소재부품산업기술개발기반구축 사업을 통해 반도체용 히터·정전척, 코트막형성재, EUV용 블랭크마스크, 산화알루미늄 분말 인프라 장비를 구축할 계획이다. 세라믹종합솔루션센터 공사가 마무리되면 장비를 이전하고 세라믹 기업들이 반도체산업 세라믹 소재, 부품, 모듈의 시제품 제작, 평가, 양산화를 지원하게 된다.

또한 대기업과 중소기업의 협업을 통해 반도체 생산 장비의 핵심소재를 광범위하게 적용, 고기능 세라믹 소재·부품·모듈 생산을 지원한다는 계획이다.

엄태준 이천시장은 “이천시 세라믹종합솔루션센터는 한국반도체산업의 경쟁력 확보에 중요한 역할을 할 것이며, 연구개발뿐 아니라 기업의 제품 상용화 지원 및 기술 개선 지원 측면에서 중심적인 역할을 하게 될 것”이라며 “이천시의 반도체산업 관련 세라믹 분야에 대한 관심과 지원은 도자산업의 블루오션화와 미래 일자리 창출, 대·중소기업 상생모델 구축 등 큰 효과가 기대된다”고 밝혔다.

한편 이천시는 이천시세라믹종합솔루션센터의 활성화를 위해 지난 6월10일 SK하이닉스, 한국세라믹기술원과 함께 반도체 관련 세라믹 산업 성장을 위한 공동협력 양해각서를 체결하고 이천시세라믹종합솔루션센터가 위치할 신규 건물 건축에 대해 행정·재정적 지원을 적극적으로 진행할 예정이다.